氣體應用系統(tǒng)工程行業(yè)雖然是一個小眾行業(yè)，但它在現(xiàn)代工業(yè)中也是不可或缺的一部分，其工程覆蓋半導體、集成電路、光纖、太陽能電池、生物醫(yī)藥、食品安全、實驗科研等多個高新技術領域。其中特氣系統(tǒng)是一個非常重要的組成部分，因為篇幅有限，今天小編就先帶大家了解一下特氣、特氣柜和特氣系統(tǒng)吧！

1.什么是特氣？

特氣，又名特種氣體，是一種基礎化工原料，大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕性、純度特別高（超過99.999%）的氣體，用來滿足特定需求如芯片制程等。至于如何界定屬不屬于特氣范疇，對于我們行業(yè)內(nèi)來說，主要看的是純度。

2.特氣的分類：

特種氣體(Specialtygases)門類繁多，通?？蓞^(qū)分為電子氣體，標準氣，環(huán)保氣，醫(yī)用氣，焊接氣，殺菌氣等。

3.關于特氣的純度，5N/6N是什么意思？

5N：99.999% ，氣體純度達到5個nine；

6N：99.9999% ，氣體純度達到6個nine。

4.特氣的使用危險性大不大？

廣泛上來說危險性很大，因為特種氣體大多是危險性氣體，如高純氯氣CL2擁有劇毒性，人體吸入過量高純氯氣會引起呼吸道損傷，嚴重時會引起急性肺水腫，搶救不當可能會造成窒息死亡。但是只要你的技術過硬，經(jīng)驗足夠，按照規(guī)定的操作規(guī)范進行安全操作一般問題不大，這也是為什么特氣系統(tǒng)工程的安裝公司需要資質(zhì)的原因。

5.什么是GC特氣柜？

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險特種氣體供應而設計的供應系統(tǒng)設備，主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定輸送。

6.特氣柜的種類

特氣柜按類別分全自動、半自動和手動操作。

其中全自動GC特氣柜按功能設計可分為 單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設計可分為三種：分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

（1） 單鋼的設計通常使用于研究機構或?qū)嶒炇业?。工藝制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機進行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。 

（2） 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機情況，當一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶（stand by）會自動轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮氣是以鋼瓶或廠務端供應，當purge用的PN2統(tǒng)一由廠務端來供應時，所有特殊氣體供應系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應源，會有較高的風險值；萬一中央供應系統(tǒng)的PN2中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用purge，此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應變方式。 

（3） 三鋼氣柜成本不會差很多安全性會是最好的，只要空間允許應最優(yōu)先選擇。

7.全自動特氣柜的功能作用

全自動特氣柜（Gas Cabinet ）基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設定報警信號被觸發(fā)時）。采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置，實現(xiàn)設備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設計的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

8.特氣柜與普通氣瓶柜的區(qū)別？

因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全，應具備多種功能，如柜內(nèi)氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等，提高使用安全系數(shù)，有效的保護生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次，半導體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

9.特氣柜的SEMI S2認證重要嗎？

SEMI S2的對象是針對半導體制程設備的，是關于環(huán)境、健康、安全方面的標準，也即為EHS標準，因為半導體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學品及電氣、游離及非游離的輻射，如果處理不好，下游用戶在使用的時候就很容易導致事故甚至災難，因此對設備廠商的設備產(chǎn)品如電子特氣柜，擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。

10.那有SEMI S2認證，功能齊全的特氣柜在哪可以買到呢？

深圳沃飛科技有限公司專業(yè)從事氣體應用十多年，施工資質(zhì)齊全，經(jīng)驗豐富，不斷創(chuàng)新，擁有多項專利發(fā)明，其中自主研發(fā)設計全自動特氣柜，配置功能齊全，擁有SEMI S2認證。

11.特氣系統(tǒng)是什么？

特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件都總稱則稱為特氣系統(tǒng)，是用于實現(xiàn)特氣安全使用的氣體系統(tǒng)工程。

12.特氣系統(tǒng)的組成部分：

特氣系統(tǒng)由供氣端（CF4是氣體鋼瓶供氣）、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監(jiān)測報警系統(tǒng)等組成。

13.特氣系統(tǒng)的功能特點：

特氣系統(tǒng)中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警，并可擴展地震監(jiān)控報警;單臺設備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉(zhuǎn)，也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接?！　?/p>

14.特氣系統(tǒng)的應用領域？

電子特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

15.特氣系統(tǒng)安裝的費用貴不貴？

這個主要看您的使用需求和工藝需求來實時設計報價的，深圳沃飛科技是提供從技術咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設計、選定設備、預制組件、項目現(xiàn)場安裝建設、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術服務和配套產(chǎn)品銷售于一體的。具體的價格歡迎咨詢我們。聯(lián)系電話：0755-27919860

以上，便是氣體應用系統(tǒng)工程行業(yè)中特氣系統(tǒng)的一些常見問題的解答啦當然，如果你還有更多想要了解可以關注私信我們，我們也會竭力為您解答。感謝您的閱讀，咱們下次再見！